公开/公告号CN107275254A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-20
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201710142910.7
申请日2017-03-10
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 03:33:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20170310
实质审查的生效
2017-10-20
公开
公开
机译: 基板处理装置,基板处理系统,基板处理装置的控制方法,以及基板处理系统的控制方法
机译: 基板处理装置,基板处理系统,基板处理装置的显示方法以及基板处理装置的控制方法
机译: 基板输送装置,热处理装置,基板处理系统,基板输送装置的控制方法,以及热处理装置的控制方法