公开/公告号CN107230626A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 北京大学;北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司;
申请/专利号CN201610178245.2
申请日2016-03-25
分类号H01L21/335(20060101);H01L21/285(20060101);H01L29/45(20060101);H01L29/778(20060101);
代理机构11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人张莲莲;刘芳
地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号
入库时间 2023-06-19 03:30:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/335 申请日:20160325
实质审查的生效
2017-10-03
公开
公开
机译: N-极性铝氮化镓/氮化镓增强模式场效应晶体管
机译: N极氮化铝镓/氮化镓增强模式场效应晶体管
机译: N极氮化铝镓/氮化镓增强模式场效应晶体管