一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源

摘要

本发明提供一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源，该脉冲电源包括直流高压发生电路、高压逆变主电路和高压逆变控制电路，所述直流高压发生电路的高压源输出端与高压逆变主电路的电源输入端连接，所述高压逆变控制电路与高压逆变主电路的控制端连接，所述高压逆变主电路中的功率开关器件由多个功率IGBT管串联构成。本发明具有寿命长、稳定、噪音小等的优点。