一种小型化电容式真空压力传感器封装结构

摘要

一种小型化电容式真空压力传感器封装结构，它涉及电容式真空传感器领域。本发明为了解决现有的电容式真空传感器存在电极板之间的间隙小，电容电极的直径大，抗过载能力低，且采用气态吸气剂需要将传感器产品移出转至其他设备中进行加热，存在污染真空密封腔内的真空度的问题。本发明的金属动电极的下端面与下盖的上端面固接，金属动电极的上端面与外壳的下端固接，上盖固定安装在外壳的上端，转接端子安装在上盖上，转接端子的外边缘与上盖固接，静电极安装在外壳内，导电橡胶的下端与静电极的上端面接触，引脚的一端安装在导电橡胶上方的凹槽内，引脚的另一端与转接端子固接，密封接头与上盖焊接在一起。本发明用于真空压力的测量。