一种基于MEMS技术的法布里‑珀罗腔可调光滤波器

摘要

本发明公开了一种基于MEMS技术的法布里‑珀罗腔可调光滤波器，用以选择特定波长的单色光进行输出，包括由压电驱动的法布里‑珀罗腔，所述法布里‑珀罗腔包括两个平行反射面，一个为固定反射面，另一个为可动反射面，所述固定反射面和可动反射面的周边的中间夹有压电结构层；通过外加电信号改变压电结构层的状态，从而改变固定反射面和可动反射面之间的间距，最终改变输出光的波长。本发明具有结构简单、制作方便、动态范围大、波长选择范围宽等优点。