III‑N器件中的凹陷欧姆接触

摘要

一种器件，包括具有上侧和下侧的III‑N层，下侧与上侧相对，以及III‑N层的上侧上的至少一个导电接触，导电接触延伸进入III‑N层。导电接触包括远离III‑N层的下侧面对的顶侧，以及朝向III‑N层的下侧面对的底侧。底侧包括第一端以及与第一端相对的第二端，从第一端升高至比第一端更接近顶侧的中间点的第一侧，以及从中间点下降至第二端的第二侧，第二端比中间点更远离顶侧。