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机译:用于改善欧姆接触的AlGaN / GaN高电子迁移晶体管上的凹陷蚀刻和氢氧化氢氧化氢氧化铝纳米级图案
AlGaN; GaN HEMT; Ohmic contact; Recess etch; TMAH;
机译:用于改善欧姆接触的AlGaN / GaN高电子迁移晶体管上的凹陷蚀刻和氢氧化氢氧化氢氧化铝纳米级图案
机译:用于改善基于Au的Au自由Ta / Ai的耐稳定性的物质研究在低温下为AlGaN / GaN异质结构退火
机译:预钝化的AlGaN / GaN HEMT,在退火的欧姆接触中具有提高的边缘敏锐度
机译:优化AlGaN / GaN HEMT欧姆接触以改善低接触电阻的表面形态
机译:用于AlGaN / GaN和InAlN / GaN二极管以及在硅(111)衬底上生长的高迁移率晶体管的CMOS兼容氧化钌肖特基接触的研究。
机译:AlGaN / GaN HEMT的优化Ti / Al / Ta / Au欧姆接触的电学表征和纳米级表面形貌
机译:用于AlGaN / GaN HEMT的优化Ti / Al / Ta / Au欧姆接触的电学表征和纳米级表面形貌