首页> 中国专利> 液体喷出装置、纳米压印设备、纳米压印用液体容纳罐、固化物图案的制造方法、光学组件的制造方法、电路板的制造方法、和压印用模具的制造方法

液体喷出装置、纳米压印设备、纳米压印用液体容纳罐、固化物图案的制造方法、光学组件的制造方法、电路板的制造方法、和压印用模具的制造方法

摘要

一种液体喷出装置,其包括容纳纳米压印用液体的容纳部,并且还包括与容纳部连通且喷出纳米压印用液体的喷出口。容纳部具有吸附或吸收选自由颗粒、金属离子和水组成的组中的至少之一的吸着介质。当纳米压印用液体从喷出口喷出时,吸着介质不从喷出口喷出。

著录项

  • 公开/公告号CN107112206A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能株式会社;

    申请/专利号CN201580058890.4

  • 发明设计人 伊藤俊树;荒木義雅;岩下和美;

    申请日2015-10-05

  • 分类号

  • 代理机构北京魏启学律师事务所;

  • 代理人魏启学

  • 地址 日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号

  • 入库时间 2023-06-19 03:13:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20151005

    实质审查的生效

  • 2017-08-29

    公开

    公开

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