法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20151005
实质审查的生效
2017-08-29
公开
公开
机译: 液体排放装置,纳米压印装置,纳米压印液体储罐,固化产品图案制造方法,光学元件制造方法,电路板制造方法,压印模具制造方法
机译: 用于纳米压印的液体材料,用于纳米压印的液体材料的制造方法,固化产品的制造方法,光学部件的制造方法以及电路板的制造方法
机译: 纳米压印模具,用于制造纳米压印模具的方法,使用该纳米压印模具的纳米压印方法以及图案化基板的制造方法