纳米压印技术在制造领域的应用

摘要

微纳米加工技术作为一种典型的先进制造技术,其制造精度可达到纳米级别,在小型甚至微型元器件、微型芯片及生物传感器的制造、批量化生产中具有不可取代的作用.纳米压印技术作为新型的光刻技术,具有成本低、分辨率高、效率高、制造流程便捷等优点.文章围绕纳米压印技术的主流方法进行介绍,对纳米热压印、紫外纳米压印、纳米电极光刻等方法的特点及原理进行了阐述,并对纳米压印技术的应用做出了总结和展望.