薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法

摘要

本发明提供了一种薄膜应力测试装置，包括激光发射模组、激光接收模组和测试平台。所述激光发射模组包括设置于所述测试平台的激光器、分束元件。所述激光接收模组包括设置于所述测试平台图像处理设备。所述测试平台上设置有待测样品。所述激光器发射的激光经所述分束元件后被分成二维激光阵列，所述二维激光阵列投射至所述待测样品，经过所述待测样品反射被所述图像处理设备接收。所述薄膜应力测试装置能够快速测量大面积衬底的薄膜应力。本发明还进一步提供一种薄膜应力测试装置的薄膜应力测试方法。