bevel; defect; stress; wafer edge; warpage;
机译:通过晶片弯曲法在薄膜上施加确定的应力状态;锡膜老化的验证和应用
机译:脉冲激光沉积红宝石薄膜的晶片曲率与荧光之间的相关性应力为〜2 CPa
机译:晶片曲率与脉冲激光沉积的Ruby薄膜的荧光之间的相关性应胁迫〜2 CPa
机译:倒角膜去除对晶圆翘曲和膜应力的影响
机译:从晶片表面氧化和去除有机薄膜:臭氧水应用和水循环的基础。
机译:低温键合法制备的LNOI / Si杂化晶片铌酸锂薄膜层中的残余应力
机译:将薄膜折叠在具有高应力铬铰链的硅晶片平面之外