公开/公告号CN107084745A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201710269924.5
申请日2017-04-21
分类号G01C25/00(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 03:05:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C25/00 申请日:20170421
实质审查的生效
2017-08-22
公开
公开
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