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一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺

摘要

本发明公开了一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺,设有炉体和加热电源,在炉膛内设有石英管,石英管内设有坩锅,坩锅内下部设有籽晶腔,在石英管下方设有支撑架,炉膛的上下两端设有密封堵头,所述炉体的炉膛内从下到上依次设有九个加热区;每个加热区设有与电源柜连通的电极和电缆、自控开关,还设有温控系统。本发明适用于碲锌镉单晶的生长,省去了机械运动,形成无震动生长环境,分区灵活地控制生长温度,大大缩短了升温化料和接籽晶的时间,提高了单晶的质量和生产效率。而且整机结构紧凑,占地面积小,减少设备成本,安装简单,并且程序化控制,运行精确,重复性稳定。利用该设备可较快生成大直径碲锌镉单晶体。

著录项

  • 公开/公告号CN107059132A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 磐石创新(北京)电子装备有限公司;

    申请/专利号CN201710196467.1

  • 发明设计人 魏守冲;张明文;

    申请日2017-03-29

  • 分类号C30B29/48(20060101);C30B11/00(20060101);

  • 代理机构11599 北京东方昭阳知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人黄素云

  • 地址 101102 北京市通州区马驹桥金桥产业园联东U谷中区89A

  • 入库时间 2023-06-19 03:03:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/48 申请日:20170329

    实质审查的生效

  • 2017-08-18

    公开

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