公开/公告号CN107039311A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-11
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社平间理化研究所;
申请/专利号CN201611051122.9
发明设计人 中川俊元;
申请日2016-11-24
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李海龙
地址 日本国神奈川县
入库时间 2023-06-19 03:00:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20161124
实质审查的生效
2017-08-11
公开
公开
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