公开/公告号CN107026231A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-08
原文格式PDF
申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;
申请/专利号CN201710010169.9
发明设计人 S.德内;
申请日2017-01-06
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人周志明
地址 德国斯图加特
入库时间 2023-06-19 02:58:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/083 申请日:20170106
实质审查的生效
2017-08-08
公开
公开
机译: 机电变换器和用于制造机电变换器的方法
机译: 用于制造例如机电的微机电系统结构的方法。加速度传感器涉及沉积氧化物层作为牺牲层,从而通过将离子撞击在氧化物层上而在氧化物层中形成多孔区域
机译: 用于例如在半导体中使用的微机电系统结构的半导体芯片的制造方法。加速度传感器,包括在装置的侧面区域上沉积多晶硅的籽晶层