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一种使用不同波长的超短脉冲皮秒激光诱导相变材料薄膜晶化的方法

摘要

一种使用不同波长的超短脉冲皮秒激光诱导相变材料薄膜晶化的方法,属于膜晶化技术领域。采用的装置包括:控制中心与基础光源设备连接,基础光源设备发出的光经镜头辐照在薄膜上;包括以下步骤:(1)在选取的基底上使用磁控溅射的方法镀一层薄膜;(2)运用(1)中得到的材料,在同一种基础光源下,先使用基础镜头,用合适能量的激光辐照材料;材料发生相变,基础光为波长为1064nm的皮秒脉冲激光或更换镜头,在倍频晶体作用下,波长发生改变,变为532nm或355nm,用合适能量的激光辐照材料;材料发生相变。

著录项

  • 公开/公告号CN107017342A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京工业大学;

    申请/专利号CN201710233507.5

  • 发明设计人 王泽朦;刘富荣;杨继峰;

    申请日2017-04-11

  • 分类号

  • 代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司;

  • 代理人张立改

  • 地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号

  • 入库时间 2023-06-19 02:58:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-03

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L45/00 申请公布日:20170804 申请日:20170411

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2017-08-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20170411

    实质审查的生效

  • 2017-08-04

    公开

    公开

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