制备供微结构诊断的样本的方法和供微结构诊断的样本

摘要

在一种用于制备供微结构诊断的样本的方法中，通过材料烧蚀处理在样本主体上制备样本部分（PA）。随后在样本部分上产生检查区域，所述检查区域包括待检查的目标区域（ZB）。方法包含以下步骤：在样本部分的至少一个表面上产生包括目标区域的阶台结构区（TBZ），其中，出于产生阶台结构区的目的，通过材料烧蚀射束处理在目标区域近旁产生至少一个凹口（K），所述凹口带有相对于表面倾斜地延伸的侧翼（F1、F2）；以及借助于离子束（IB）在阶台结构区（TBZ）的区域中烧蚀样本部分（PA）的材料，所述离子束倾斜于凹口（K）的广度方向在掠入射下辐射到表面上，使得目标区域（ZB）沿离子束（IB）的入射辐射方向位于所述凹口后方。