一种基于Sn掺杂NiO分等级结构纳米花球敏感材料的二甲苯气体传感器及其制备方法

摘要

一种基于Sn掺杂NiO分等级结构纳米花球敏感材料的二甲苯气体传感器及其制备方法，属于半导体氧化物气体传感器技术领域。本发明利用异价金属离子(Sn4+)掺杂的方法对P型NiO半导体敏感材料进行改性，实现了气敏特性的较大飞跃。基于Sn掺杂NiO纳米花球的传感器对二甲苯表现出卓越的选择性和灵敏度(20.2～100ppm)以及较低的检测下限(0.3ppm)。此外，本发明所采用的传感器结构是由市售的带有2个环形金电极的Al2O3绝缘陶瓷管、涂敷在环形金电极和Al2O3绝缘陶瓷管上的半导体敏感材料、以及穿过Al2O3绝缘陶瓷管的镍铬合金加热线圈组成。器件工艺简单，体积小，适于大批量生产，在检测微环境中二甲苯污染物方面有广阔的应用前景。