具有反射器的前照式(FSI)图像传感器

摘要

本发明提供了具有反射器的前照式(FSI)图像传感器。光电探测器掩埋在传感器衬底中。支撑衬底布置在传感器衬底下方并且接合至传感器衬底。反射器布置在光电传感器下方、传感器衬底和支撑衬底之间，并且配置为朝向光电探测器反射入射辐射。同样提供了用于制造具有反射器的FSI图像传感器的方法。