基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量方法及测量装置

摘要

本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量方法及测量装置，通过调整M1反射镜与样品平面之间的角度，使激光束光程发生变化，从而使干涉条纹产生移动，再依据本发明提供的公式计算得到待测样品的厚度；由于该测量方法需要控制的物理量仅为M1反射镜与样品平面之间的角度，测量误差极小，在简化了测量过程的同时，提高了样品厚度测量精度；用于实现上述测量方法的测量装置，由于测量原理简单且不需要高精度的昂贵仪器，因此可以将光路组件集成在一体化的装置内，设计成小型化的便携装置。