基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量装置，将载物台或者光学组件设计为可旋转式，通过调整M1反射镜与样品平面之间的角度，使激光束光程发生变化，从而使干涉条纹产生移动，再依据相关公式计算得到待测样品的厚度；由于该测量装置仅需要控制M1反射镜与样品平面之间的角度，就可实现对样品厚度的测量，减少了需要调整的元件，从而使测量误差极小，这样不仅简化了测量过程，而且提高了样品厚度测量精度；此外，由于测量原理简单且不需要高精度的昂贵仪器，因此可以将光路组件集成在一体化的装置内，将装置设计成小型化的便携装置。