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目录
第一章 综 述
1.1 论文的研究背景与意义
1.2 纳米位移测量方法研究现状
1.3 论文的研究内容与组织结构
第二章 差动式迈克尔逊干涉纳米位移测量原理与系统设计
2.1 差动式迈克尔逊干涉纳米位移测量原理
2.2 测量系统的光路结构设计
2.3 测量系统的机械结构设计
2.4 差动式迈克尔逊干涉仪的系统整体结构及工作原理
2.5 主要元器件的选择
2.6 本章小结
第三章 差动式迈克尔逊干涉的信号处理系统设计
3.1 干涉系统的信号处理方法设计
3.2系统软件设计
3.3本章小结
第四章 实验与误差分析
4.1 相位差测量补偿对比实验
4.2 小数计数位移测量实验
4.3 大数计数位移测量实验
4.4 大小数结合位移测量实验
4.5 误差分析
4.6 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 论文总结
5.2 论文展望
参考文献
致谢
攻读学位期间的研究成果