一种基于迈克尔逊干涉原理的复合干涉绝对位移测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的复合干涉绝对位移测量装置，属于光学测量技术领域。所述系统由低相干光光源、高相干光光源、第一平面镜、第二平面镜、第三平面镜、分光片、补偿板、接收器、额外补偿板组成。采用一套干涉装置，同时通以三路光路，低相干光光路作为绝对测量时的定标作用，第一高相干光光路起着精密测量位移的功能，第二高相干光光路测量环境因素导致的光程改变量以消除测量误差。该实用新型结构简单，使用方便，能有效消除机械传动装置的双向传动误差或压电陶瓷促动器的非线性及温度，气流，震动等环境因素对测量的影响，并降低仪器制造和测量成本实现精密测量。