法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01D11/26 申请公布日:20170609 申请日:20161226
发明专利申请公布后的驳回
2017-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D11/26 申请日:20161226
实质审查的生效
2017-06-09
公开
公开
机译: 显微镜例如全内反射显微镜,具有光源和光束组合装置,通过改变机构在光路中通过并适应显微镜的不同操作参数
机译: 用于晶片检查系统的光学系统,具有能够使部分光束的偏振状态独立于另一部分光束而改变的偏振操纵器,以及设置在部分光束的光路中的光束偏转元件。
机译: wiederzugebenden schwingungsspur的光路机械记录机构,包括制造此类光束和光束的过程,包括此类schwingungsspur。