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公开/公告号CN106816805A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201510873247.9
发明设计人 翟慎强;王涛;刘俊岐;刘峰奇;王占国;
申请日2015-12-02
分类号H01S3/042(20060101);H01S3/23(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-06-19 02:28:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/042 申请日:20151202
实质审查的生效
2017-06-09
公开
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