一种电容式微位移传感器检测电路

摘要

一种电容式微位移传感器检测电路包括正弦激励源电路、电容检测电路、精密全波整流电路、增益滤波电路。正弦激励源信号施加于传感器，通过电容检测电路，将正比于极板间距变化的电压输出，通过精密全波整流电路、增益滤波电路，取出变化电压的直流分量，该直流分量正比于电容传感器极板间距。解决了变间隙式电容位移传感器输出特性的非线性问题。该电路输出电压与传感器测头间位移成正比，具有很强的抗杂散电容能力和抗干扰能力。