公开/公告号CN106753875A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 长安大学;
申请/专利号CN201611066026.1
申请日2016-11-28
分类号C11D1/831(20060101);C11D3/04(20060101);C11D3/24(20060101);C11D3/60(20060101);
代理机构北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙);
代理人刘玲玲
地址 710064 陕西省西安市南二环路中段
入库时间 2023-06-19 02:21:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C11D1/831 申请日:20161128
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
机译: 低介电常数材料的氢等离子体光刻胶剥离剂和聚合物残留物清除工艺
机译: 低介电常数材料的氢等离子体光刻胶剥离剂和聚合物残留物清除工艺
机译: 低介电常数材料的氢等离子体光刻胶剥离剂和聚合物残留物清除工艺