一种佳能光罩制作色阻层的挡板标识及其使用方法

摘要

本发明涉及液晶显示技术领域的一种佳能光罩制作色组层的挡板标识及其使用方法。所述挡板标识包括前制程层和色阻层，所述的前制程层上形成有刻度标尺，且所述刻度标尺至少有一部分与色阻层重叠。所述的色阻层为间隔设置的平行条带结构，且相邻条带在水平方向上的投影相接和/或部分重叠。制作完色阻层后，通过观察色阻层对前制程层中的刻度标尺的覆盖情况，既可判断色阻层制作时挡板的遮挡距离是否合理，是否需要补偿。另外，所述挡板标识中的色阻层为间隔设置的平行条带结构，相邻条带在水平方向上的投影相接和/或部分重叠，既能使色阻层的至少一部分与前制程层上的刻度标尺重叠，又克服了色阻曝光解析度低的问题。