公开/公告号CN1685492B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-12-26
原文格式PDF
申请/专利权人 先进微装置公司;
申请/专利号CN03822826.2
申请日2003-09-12
分类号
代理机构北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:12:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-26
授权
授权
2005-12-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-10-19
公开
公开
机译: 基于产品设计和良率反馈系统的综合集成光刻工艺控制系统
机译: 基于产品设计和成品率反馈系统的通用集成光刻工艺控制系统
机译: 基于产品设计和良率反馈系统的综合集成光刻工艺控制系统