热阴极高密度低能离子束生物改性设备

摘要

本发明提供一种热阴极高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，所述离子源包括沿进气方向依次布置在电离室内的加热丝、LaB6块状阴极和阳极，该电离室与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述线圈置于电离室的外侧，所述LaB6块状阴极激发出弧光放电等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。本发明所阐述的等离子体密度比市面上现有的辉光放电等离子体提高10~100倍，发射密度高，离子束束流密度高，效果明显，生物改性效率高。