酸性铜电镀浴以及用于电镀低内应力和优良延展性的铜沉积物的方法

摘要

酸性铜电镀浴提供具有优良延展性的改进的低内应力的铜沉积物。所述酸性铜电镀浴包括一种或多种聚烯丙胺和某些含硫促进剂。所述酸性铜电镀浴可用于在相对较薄基板上电镀薄膜以提供具有低内应力和高延展性的薄膜铜沉积物。