一种平面等厚干涉数显测量装置及测量平晶平面度的方法

摘要

本发明提供一种平面等厚干涉数显测量装置及测量平晶平面度的方法。平面等厚干涉数显测量装置主要包括图像采集与传输、图像识别与处理、数据采集与处理三个模块。通过CCD图像传感器采集光波干涉条纹图像信息并通过计算机图像与数据处理技术，直接显示平面度测量值，有效减小多项误差源，提高测量效率和测量结果的准确度。采用该测量装置测量平晶平面度，通过计算机图像与数据处理程序软件，优化原有测量过程，提高测量过程和数据处理的自动化程度，有效解决了原有测量方法中的缺陷和技术难题。本测量装置成本低廉，硬件安装及图像调焦简捷快速，显著减轻人员工作强度，且具有普遍的适用性。