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平面平晶平面度测量结果的不确定度评定

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本文以φ100 mm的平晶为例,对JJG 28-2000《平晶》中以等厚干涉仪法校准工作平晶的平面度进行了测量结果不确定度的分析与评定.

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来源
《大众标准化》 |2015年第2期|75-77|共3页
作者
张珺;
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作者单位

河北省唐山市计量测试所;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
平晶; 重复性测量; 干涉条纹; 不确定度;

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