基于数字散斑干涉的变形及斜率同步测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于数字散斑干涉的变形及斜率同步测量装置及测量方法，激光器出射光被分光棱镜分为第一束光和第二束光；第一束光经另一分光棱镜反射到单色CCD相机成像靶面上，构成参考光路；第二束光经平面镜反射照射在被测物体表面，形成激光散斑场，单色CCD相机从与光轴对称的双方向同时接收激光散斑场，构成两个物光路；通过切换参考光路和物光路的开闭，形成同步测量的数字散斑干涉光路和剪切数字散斑干涉光路，提取散斑干涉条纹相位和剪切散斑干涉条纹相位，测得被测物体表面变形和斜率。本发明实现了被测物体变形及其斜率信息的同步、独立测量，无需重复加载和后期分离；采用相移技术，提高测量精度；构建测量灵敏度可调且物光共用的散斑干涉双光路，使系统整体结构简单、紧凑。