一种蓝宝石衬底刻蚀用托盘凸台及控制方法

摘要

本发明公开了一种蓝宝石衬底刻蚀用托盘凸台及其控制方法，包括托盘凸台，所述托盘凸台上设有冷却孔，托盘凸台的上端面呈下陷的凹面结构，该凹面结构呈倒锥体状，该倒锥体状的凹面结构的顶点为该凹面结构的最低点，并且该凹面结构的最低点与托盘凸台上端面的水平位置间隔10‑40um。本发明有效改善蓝宝石晶片内各位置的温度，改善了感应耦合等离子体刻蚀蓝宝石衬底的片内均匀性。