MgO掺杂ZnO溅射靶材的制备方法

摘要

MgO掺杂ZnO溅射靶材的制备方法，按比例称取ZnO和MgO粉装入尼龙球磨罐，加入无水乙醇和玛瑙球，在星型球磨机上快速球磨后取出混合粉，筛分出玛瑙球；烘干无水乙醇；填入模具中在高温炉中加热加压；出炉后靶坯加工切片成靶材。将高纯度ZnO粉MgO粉混合热压制备靶材，工艺简单，成本降低，利用其制备的发光材料颗粒均匀，分散性好，具有优良的发光性质，且镁掺杂ZnO的浓度可以调节，从而改变其带宽和绿光波长，可以用于发光二极管和激光器等领域，大大增强其实用性能。