公开/公告号CN106328630A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201610984922.X
发明设计人 马杰;
申请日2016-11-09
分类号H01L23/544;H01L21/60;
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人智云
地址 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
入库时间 2023-06-19 01:20:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L23/544 申请公布日:20170111 申请日:20161109
发明专利申请公布后的驳回
2017-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/544 申请日:20161109
实质审查的生效
2017-01-11
公开
公开
机译: 太阳能吸收涂层包括金属基底,至少金属反射层,沉积在金属反射器上的结构层吸收多层,包括介电层和金属层,该金属层在层间和层间具有相同或不同的厚度和/或组成。通过反应性溅射沉积介电CAS,通过直流溅射沉积金属层。
机译: 检测层间介电层缺陷的层状结构和测试方法
机译: 屏障金属层性能测试方法