接触电阻率的测量方法及装置

摘要

本发明实施例公开了一种接触电阻率的测量方法及装置。所述方法包括：利用Corescan机台的测试探针按照与所述电池片表面的细栅线垂直的方向，划过所述电池片表面；记录所述测试探针划过所述电池片表面时测量到的峰值电压，以及与所述峰值电压对应的跳跃电压；根据测量到所述峰值电压的取值，计算所述电池片的扩散薄层电阻率；根据所述峰值电压、所述跳跃电压的取值，以及计算得到的所述电池片的扩散薄层电阻率的值，计算所述电池片导电浆料与半导体材料之间的接触电阻率。本发明实施例提供的接触电阻率的测量方法及装置能够大大简化接触电阻率的测量过程。