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接触电阻率测量方法的研究

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摘要

对于金属-半导体欧姆接触,本文介绍了两种接触电阻率的测量方法:两直径法和回归分析法,测量结果较准确.对同一样品,用多种方法测显,比较其结果并对各种测量方法进行了评述.

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来源
《固体电子学研究与进展》 |1990年第3期|294-302|共9页
作者
茅保华; 盛永喜; 鲍希茂;
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作者单位

南京电子器件研究所;

南京大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类装架;
关键词
金属-半导体; 接触电阻率; 测量法;

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