法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-06
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F3/06 申请公布日:20161221 申请日:20160906
发明专利申请公布后的驳回
2017-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F3/06 申请日:20160906
实质审查的生效
2016-12-21
公开
公开
机译: 用于抛光组件的抛光液,尤其适用于这种类型的化学机械抛光组件的抛光剂
机译: 从衬底上去除块状材料层的方法和适用于该方法的化学机械抛光剂
机译: 从衬底上去除块状材料层的方法和适用于该方法的化学机械抛光剂