公开/公告号CN103436886A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-12-11
原文格式PDF
申请/专利权人 国家电网公司;国网天津市电力公司;
申请/专利号CN201310324288.3
申请日2013-07-30
分类号C23F3/06;G01N1/32;
代理机构天津盛理知识产权代理有限公司;
代理人王来佳
地址 100031 北京市西城区西长安街86号
入库时间 2024-02-19 20:56:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-06
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F3/06 申请公布日:20131211 申请日:20130730
发明专利申请公布后的驳回
2014-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F3/06 申请日:20130730
实质审查的生效
2013-12-11
公开
公开
机译: 用于抛光组件的抛光液,尤其适用于这种类型的化学机械抛光组件的抛光剂
机译: 从衬底上去除块状材料层的方法和适用于该方法的化学机械抛光剂
机译: 从衬底上去除块状材料层的方法和适用于该方法的化学机械抛光剂