一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法

摘要

本发明是一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法，利用宽光谱照明光源，通过远心光学成像系统，透过Mirau干涉物镜使光线分为两束，一束反射到参考镜面，另一束透射到被测物体表面，最后两束光线发生干涉并通过光电耦合元件CCD(Charge Coupled Device)采集所得到的干涉图。利用压电陶瓷控制Mirau干涉物镜Z向扫描移动，将CCD采集得到的一系列干涉图进行保存，通过相关算法将采集得到的每幅光强干涉图转变为调制度图，进而利用提出的基于调制度的三维形貌恢复算法来进行微纳结构的三维形貌检测。本方法具有测量精度高，受背景光影响小，测量距离较长，实用性强等特点。