公开/公告号CN106170848A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-30
原文格式PDF
申请/专利权人 MT系统公司;
申请/专利号CN201480050344.1
申请日2014-09-16
分类号H01L21/306;H01L21/324;
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人钟晶
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 00:59:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/306 申请公布日:20161130 申请日:20140916
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-09-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/306 申请日:20140916
实质审查的生效
2016-11-30
公开
公开
机译: 高温湿法对蓝宝石进行稀疏和平滑处理
机译: 高温湿法对蓝宝石进行稀疏和平滑处理
机译: 用于减薄半导体衬底的支撑结构和采用该支撑结构的减薄方法