用于在MEMS组件的层结构中制造麦克风结构和压力传感器结构的方法

摘要

本发明提出一种用于MEMS组件的制造方法，通过所述方法，在MEMS层结构中，不仅实现了具有麦克风电容器的麦克风结构，还实现了具有测量电容器的压力传感器结构。在此，在所述MEMS层结构的层中并行地、但彼此独立地构造麦克风结构和压力传感器结构的各个部件。根据本发明，由第一层结构化出压力传感器膜片，所述第一层充当麦克风膜片的管座层。由导电的第二层结构化出测量电容器的固定的对应电极，所述第二层充当麦克风结构的膜片层。由第三和第四层结构化出所述固定的压力传感器对应元件。所述第三层在麦克风结构区域内充当牺牲层，其在麦克风结构区域内的厚度确定麦克风电容器的电极间距。由所述第四层结构化出麦克风对应元件。