室温溅射沉积柔性AZO透明导电薄膜的方法

摘要

室温溅射沉积柔性AZO透明导电薄膜的方法，所述方法包括如下步骤：（1）衬底清洗；（2）预溅射；（3）同质缓冲层制备；（4）紫外光辅助溅射AZO薄膜主体层。本发明的引入低功率室温溅射的同质缓冲层，有利于后续高质量AZO主体层薄膜的制备及减小溅射粒子对有机柔性衬底造成损伤。利用本发明制备的AZO薄膜结晶性能良好，表面致密平整，工艺操作相对简单，适于工业化生产。