法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-10
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01C19/5684 申请公布日:20161116 申请日:20160617
发明专利申请公布后的驳回
2016-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C19/5684 申请日:20160617
实质审查的生效
2016-11-16
公开
公开
机译: 高质量因子MEMS硅铰链和用于振动陀螺的槽切割谐振器
机译: 高质量因子MEMS硅铰链和用于振动陀螺的槽切口谐振器
机译: 振动陀螺仪的高质量因子MEMS硅铰链和切槽谐振器