一种耗时缩短的超级结金氧半场效晶体管制备方法

摘要

本发明揭示了一种耗时缩短的超级结金氧半场效晶体管制备方法，其在衬底层上制备N型掺杂的外延层，在外延层上植入P型掺杂，重复步骤制得P型立柱与N型外延层交错的超级结结构；或者在外延层上植入P型掺杂与N型掺杂，制得P型立柱与N型立柱交错的超级结结构。