用于半导体集成电路器件的功能数字测试的自动测试设备

摘要

一种用于测试多个半导体集成电路器件的数字功能的自动测试设备，所述多个半导体集成电路器件同时连接到该设备，该设备生成适于测试至少一个器件的数据模式。数据模式的激励测试信号被复制并被分布到器件。器件对测试信号的期望响应信息也被复制并被分布到比较器，以将器件的实际响应与期望响应相比较。