法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-23
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C25D17/08 申请公布日:20160831 申请日:20160624
发明专利申请公布后的驳回
2017-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C25D17/08 申请日:20160624
实质审查的生效
2016-08-31
公开
公开
机译: 电镀高纵横比基材的铜酸浴,系统和方法
机译: TSV技术用于高纵横比3D铜互连的铜电镀微孔的方法
机译: TSV技术用于高纵横比3D铜互连的铜电镀微孔的方法