一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法，基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器包括基板、支撑梁、离子聚焦电极、前门电极、主射频电极、辅助射频电极、后门电极、离子出口推斥电极以及离子出口，集成的离子聚焦电极降低了离子损耗，提高了离子捕获效率，相比外置离子聚焦透镜，减少了装配精度带来的误差，制作方法采用MEMS工艺，提高了加工精度和成品率，易于批量生产。